Hạn chế sự liên khuếch tán giữa màng Germanium và đế silic bằng màng đa lớp Ge/Carbon ứng dụng trong lĩnh vực quang điện tử tích hợp

بواسطة Lương, Thị Kim Phượng, Tịnh, Trúc Ly
منشور في 2024