01395nam a2200217Ia 4500 CTU_161654 210402s9999 xx 000 0 und d 621.38152 Y603 60440103 Nguyễn, Thị Hải Yến Nghiên cứu và chế tạo màng mỏng ZnO:In bằng phương pháp phún xạ magnetron DC : Luận văn Thạc sĩ Khoa học Tự nhiên. Chuyên ngành: Vật lý kỹ thuật Nguyễn Thị Hải Yến; Lê Vũ Tuấn Hùng ( Hướng dẫn Khoa học ) Cần Thơ Trường Đại học Cần Thơ 2010 Đề tà nghiên cứu về mặt lý thuyết, đã tìm hiểu, nghiên cứu về cơ chế dò khí của bán dẫn oxit kim loại, cụ thể là vật liệu ZnO. Chế tạo thành công vật liệu ZnO và ZnO pha tạp In bằng phương pháp phún xạ magnetron DC thỏa mãn những nhu cầu dành cho thiết bị nhạy khí màng mỏng. Khảo sát tính chất nhạy khí ethanol của màng ZnO. Semiconductors,Chất bán dẫn,Zinc oxide thin films,Màng mỏng ZnO Nhớ, Năm Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ