01482nam a2200217Ia 4500 CTU_166858 210402s9999 xx 000 0 und d 537.622 Ph561 60440103 Phạm, Hoài Phương Chế tạo và khảo sát các đặc trưng cấu trúc, điện, quang của màng a-Si:H pha tạp bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa tăng cường Plasma (PECVD) : Luận văn Thạc sĩ Vật lý chuyên ngành Vật lý Kỹ thuật Phạm Hoài Phương ; Trần Quang Trung ( Hướng dẫn khoa học) Cần Thơ Trường Đại học Cần Thơ 2011 Đề tài nghiên cứu về vật liệu bán dẫn silic, và Si:H, tìm hiểu về tính chất quang và tính chất điện của màng Si:H, tìm hiểu phương pháp lằng đọng hóa học CVD và PECVD. Nghiên cứu cách chế tạo và đo đạc xác định các tính chất quang điện, điện và cấu trúc của màng Si:H và Si:H pha tạp P. Đánh giá các điều kiện chế tạo và tìm ra điều kiện chế tạo mẫu tối ưu. Semiconductors,Chất bán dẫn Hải Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ