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(1993). Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung: integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik. Düsseldorf: VDI Verlag.

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Technologien Für Mikrosysteme: Stand Und Entwicklung: Integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik. Düsseldorf: VDI Verlag, 1993.

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Technologien Für Mikrosysteme: Stand Und Entwicklung: Integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik. Düsseldorf: VDI Verlag, 1993.