May, G. S., & Sze, S. M. (2004). Fundamentals of semiconductor fabrication (Wiley international ed.). New York: Wiley.
Chicago ZitierstilMay, Gary S., und S. M. Sze. Fundamentals of Semiconductor Fabrication. Wiley international ed. New York: Wiley, 2004.
MLA ZitierstilMay, Gary S., und S. M. Sze. Fundamentals of Semiconductor Fabrication. Wiley international ed. New York: Wiley, 2004.
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