Gilleo, K. (2005). MEMS/MOEMS packaging: Concepts, designs, materials, and processes. New York: McGraw-Hill.
Chicago-стиль цитированияGilleo, Ken. MEMS/MOEMS Packaging: Concepts, Designs, Materials, and Processes. New York: McGraw-Hill, 2005.
MLA-цитированиеGilleo, Ken. MEMS/MOEMS Packaging: Concepts, Designs, Materials, and Processes. New York: McGraw-Hill, 2005.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.