00903nam a2200289 4500 DLU090078204 ##20090619 DLU eng eng US Walsh, Michael A. Atomic-scale templates patterned by ultrahigh vacuum scanning tunneling microscopy on silicon / Michael A. Walsh, Mark C. Hersam. Feedback-controlled lithography Nanoelectronics Nanolithography Surface chemistry Hersam, Mark C. Annual Review of Physical Chemistry Vol. 60 (2009), p. 193-216 Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt DLU True Trương Bảo Trâm Anh G A BB Thư viện Trường Đại học Đà Lạt