01155nam a2200361 4500 DLU090094213 ##20091201 DLU eng eng us Development of parametric material, energy, emission inventories for wafer fabrication in the semiconductor industry / Cynthia F. Murphy ... [et al.]. Electronics industry Emissions inventory Energy consumption Microelectronic fabrication Pollutant emission Raw materials Semiconductor materials Allen, David T. Dyer, David E. Kenig, George A. Laurent, Jean-Philippe. Murphy, Cynthia F. Environmental Science & Technology Vol. 37, no. 23 (December 2003), p. 5373-5382 Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt DLU True Trương Bảo Trâm Anh G A BB Thư viện Trường Đại học Đà Lạt