01131nam a2200337 4500 DLU090095081 ##20091201 DLU eng eng us Chein, Hungmin. Efficient control system for low-concentration inorganic gases from a process vent stream : Application of surfactants in spray and packed columns / Hungmin Chein, Shankar G. Aggarwal, Hsin-Hsien Wu. Ammonia Electronics industry Gas absorption Hydrochloric acid Microelectronic fabrication Physicochemical purification Semiconductor materials Aggarwal, Shankar G. Wu, Hsin-Hsien. Environmental Science & Technology Vol. 38, no. 21 (November 2004), p. 5766-5772 Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt DLU True Trương Bảo Trâm Anh G A BB Thư viện Trường Đại học Đà Lạt