01124nam a2200373 4500 DLU090097289 ##20091201 DLU eng eng us Thermolithographic patterning of sol-gel metal oxides on micro hot plate sensing arrays using organosilanes / Nancy Ortins Savage ... [et al.]. Chemical sensor Iron oxide Lithography Secondary ion mass spectrometry Sensor array Sol gel process Thin film Tin oxide Gillen, Greg. Roberson, Sonya. Savage, Nancy Ortins. Semancik, Steve. Tarlov, Michael J. Analytical Chemistry Vol. 75, no. 17 (September 2003), p. 4360-4367 Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt DLU True Trương Bảo Trâm Anh G A BB Thư viện Trường Đại học Đà Lạt