French, R. H., & Tran, H. V. Immersion lithography: Photomask and wafer-level materials.
Citación estilo ChicagoFrench, Roger H., y Hoang V. Tran. Immersion Lithography: Photomask and Wafer-level Materials.
Cita MLAFrench, Roger H., y Hoang V. Tran. Immersion Lithography: Photomask and Wafer-level Materials.
Precaución: Estas citas no son 100% exactas.