French, R. H., & Tran, H. V. Immersion lithography: Photomask and wafer-level materials.
Citação norma ChicagoFrench, Roger H., và Hoang V. Tran. Immersion Lithography: Photomask and Wafer-level Materials.
Citação norma MLAFrench, Roger H., và Hoang V. Tran. Immersion Lithography: Photomask and Wafer-level Materials.
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