French, R. H., & Tran, H. V. Immersion lithography: Photomask and wafer-level materials.
Παραπομπή Chicago StyleFrench, Roger H., και Hoang V. Tran. Immersion Lithography: Photomask and Wafer-level Materials.
Παραπομπή MLAFrench, Roger H., και Hoang V. Tran. Immersion Lithography: Photomask and Wafer-level Materials.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.