French, R. H., & Tran, H. V. Immersion lithography: Photomask and wafer-level materials.
Citación estilo ChicagoFrench, Roger H., và Hoang V. Tran. Immersion Lithography: Photomask and Wafer-level Materials.
Cita MLAFrench, Roger H., và Hoang V. Tran. Immersion Lithography: Photomask and Wafer-level Materials.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.