00862nam a2200301 4500 DLU090097893 ##20091201 DLU eng eng us French, Roger H. Immersion lithography : Photomask and wafer-level materials / Roger H. French, Hoang V. Tran. Double patterning High-index fluid Pellicle Phase shift Photoresist Tran, Hoang V. Annual Review of Materials Research Vol. 39 (2009), p. 93-126 Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt DLU True Trương Bảo Trâm Anh G A BB Thư viện Trường Đại học Đà Lạt