Sewell, H., & Mulkens, J. Materials for optical lithography tool application.
Trích dẫn kiểu ChicagoSewell, Harry., và Jan Mulkens. Materials for Optical Lithography Tool Application.
Trích dẫn MLASewell, Harry., và Jan Mulkens. Materials for Optical Lithography Tool Application.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.