Park, T. G., Han, D. C., & Yang, S. S. The fabrication of megasonic agitated module (mam) for the improved characteristics of wet etching.
Citação norma ChicagoPark, Tae Gyu., Dong Chul Han, và Sang Sik Yang. The Fabrication of Megasonic Agitated Module (mam) for the Improved Characteristics of Wet Etching.
Citação norma MLAPark, Tae Gyu., Dong Chul Han, và Sang Sik Yang. The Fabrication of Megasonic Agitated Module (mam) for the Improved Characteristics of Wet Etching.
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