Park, T. G., Han, D. C., & Yang, S. S. The fabrication of megasonic agitated module (mam) for the improved characteristics of wet etching.
Trích dẫn kiểu ChicagoPark, Tae Gyu., Dong Chul Han, và Sang Sik Yang. The Fabrication of Megasonic Agitated Module (mam) for the Improved Characteristics of Wet Etching.
Trích dẫn MLAPark, Tae Gyu., Dong Chul Han, và Sang Sik Yang. The Fabrication of Megasonic Agitated Module (mam) for the Improved Characteristics of Wet Etching.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.