C.M.Hoàng., N.Đ.Chiến., N.P.Thùy., N.T.Long., N.T.M.Hằng., T.Đ.Tân., & V.N.Hùng. Nghiên cứu chế tạo cảm biến gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ MEMS.

C.M.Hoàng., N.Đ.Chiến, N.P.Thùy, N.T.Long, N.T.M.Hằng, T.Đ.Tân, and V.N.Hùng. Nghiên Cứu Chế Tạo Cảm Biến Gia Tốc Kiểu Tụ Trên Cơ Sở Công Nghệ MEMS.

C.M.Hoàng., et al. Nghiên Cứu Chế Tạo Cảm Biến Gia Tốc Kiểu Tụ Trên Cơ Sở Công Nghệ MEMS.