Nghiên cứu chế tạo cảm biến gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ MEMS - C.M.Hoàng.; N.Đ.Chiến.; N.P.Thùy.; N.T.Long.; N.T.M.Hằng.; T.Đ.Tân.; V.N.Hùng.