Mô phỏng cơ tính của màng cảm biến áp suất MEMS dựa trên phân tích giải tích và sự trợ giúp của Matlab - Đ. V. Dũng.; L. T. K. Thanh.; N. Đ. Chiến.; N. Đ. Dũng.; V. N. Hùng.