Mô phỏng đặc trưng chuyển đổi tín hiệu cơ - điện của cảm biến áp suất MEMS kiểu áp trở - Đ. V. Dũng.; L. T. K. Thanh.; N. Đ. Chiến.; N. Đ. Dũng.; V. N. Hùng.