Ứng dụng công nghệ MEMS trong chế tạo cảm biến vi cân tinh thể thạch anh (QCM) có độ nhạy cao - .Takashi Abe; Nguyễn Phú Thùy.; Nguyễn thị Quỳnh Hoa.; Vũ Ngọc Hùng.