Phạm Thị Mai Hoa., & Pasqualina M.Sarro. PECVD SiC - vật liệu cấu trúc cho các linh kiện vi cơ bề mặt.
Trích dẫn kiểu ChicagoPhạm Thị Mai Hoa., và Pasqualina M.Sarro. PECVD SiC - Vật Liệu Cấu Trúc Cho Các Linh Kiện Vi Cơ Bề Mặt.
Trích dẫn MLAPhạm Thị Mai Hoa., và Pasqualina M.Sarro. PECVD SiC - Vật Liệu Cấu Trúc Cho Các Linh Kiện Vi Cơ Bề Mặt.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.