Kỹ thuật chế tạo màng mỏng - Vũ, Thị Hạnh Thu (Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh, 2014)
Bao gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng màng bằng xung laser (PLD), phún xạ diode phẳng, phún xạ magnetron, phún xạ chùm ion, epitaxy chùm phân tử (MBE) và phun nhiệt....