Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử - Vũ, Ngọc Hùng (Bách khoa Hà Nội, 2016)
Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói