00990nam a2200205Ia 4500 TDMU_27738 210410s9999 xx 000 0 und d 543 V500 Vũ, Ngọc Hùng Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử Vũ Ngọc Hùng H. Bách khoa Hà Nội 2016 255tr. Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói Công nghệ điện tử; Cơ điện tử Vi hệ thống http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738 Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một