Kỹ thuật chân không và công nghệ bề mặt - Nguyễn Thị Phương Mai (Khoa học Kỹ thuật, 2014)
Kỹ thuật chân không ngày nay gắn liền với lĩnh vực cơ khí và công nghệ bề mặt khí các ứng dụng đã trở thành một bước trong quy trình công nghệ gia công các chi tiết máy và sản phẩm công nghiệp, bao gồm cả cơ khí chính xác và máy công cụ.Năng suất, chất lượng, hiệu quả kinh quả là những yếu tố mà sản xuất cơ khí luôn phấn đấu để đạt được kết quả ngày càng tốt hơn, đặc biệt là khi trình độ sản xuất được tự động hóa ở mức cao và chất lượng sản phẩm ngày càng hoàn hảo, nhất là lĩnh vực quang- cơ điện tử. Sách được dùng làm giáo trình cho sinh viên ngành kỹ thuật cơ khí, chuyên ngành cơ khí chính xác và quang học cũng như cho học viên thạc sĩ ngành kỹ thuật. Nội dung cuốn sách trình bày về dòng chảy khí loãng, hiện tượng vật lý , hóa học kết hợp với công nghệ chân không, sản xuất và đo chân không cao, kín khí và kỹ thuật phát hiện rò rỉ. Người đọc cũng tìm thấy sự dẫn giải từ các phương trình lý thuyết, phương thức điều chỉnh các yếu tố ảnh hưởng, ví dụ bằng số, bảng biểu, đồ thị và các ứng dụng thực tế trong công nghiệp.. Cuốn sách bao gồm tính toán thiết kế hệ chân không cùng công nghệ chế tạo màng mỏng quang học và lớp phủ bề mặt. Nó cung cấp một đánh giá rộng rãi các công nghệ mới nhất trong lĩnh vực này. Kỹ thuật chế tạo lớp phủ bằng phương pháp vật lý và lắng đọng hóa học từ pha hơi. Các tính chất cơ, hóa học cũng như thuộc tính ma sát của lớp phủ và kỹ thuật kiểm tra đánh giá phương thức nâng cao chất lượng lớp phủ theo yêu cầu kỹ thuật. các trường hợp khác nhau được xem xét để chứng minh sự cải thiện chất lượng chi tiết máy và cung cấp hướng dẫn để lựa chọn lớp phủ.