01257nam a2200265 a 4500 TVCDKTCT87891 TVCĐKTCT 20200917094801.000 161116syyyy vn Thư viện Trường CĐ Kỹ Thuật Cao Thắng RG_1 #1 eb0 i1 vie 621.381 C455N Vũ Ngọc Hùng Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử / Vũ Ngọc Hùng Tủ sách ngành Khoa học và Kỹ thuật vật liệu H. : Bách Khoa Hà Nội , 2016 255 tr. ; 24 cm Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói Từ Khoá Công nghệ điện tử Mua Cơ điện tử Vi hệ thống CN Tự động CNKT Cơ điện tử Kho Sách 100047023, 100047079, 100047404, 100048754