http://www.loc.gov/mods/v3 http://www.loc.gov/standards/mods/v3/mods-3-2.xsd
Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử
Giáo trình có thể dùng cho sinh viên các ngành Vật lý kỹ thuật , Điện tử- Viễn thông, Khoa học và công nghệ Vật liệu của các trường đại học. sách cũng là tài liệu hữu ích cho các nhà khoa học, các kỹ sư, các nghiên cứu sinh muốn tìm hiểu sâu hoặc sử dụng một hoặc vài khâu công nghệ trong qui trình chế tạo mạch vi điện tử hiện đại.
Nguyễn Đức Chiến, Nguyễn Văn Hiếu