01034nam a2200241Ia 4500 TVU_2130 210423s9999 xx 000 0 und d Vie 629.4 A105 Đào, Khắc An Công nghệ micro và nanô điện tử Đào Khắc An Hà Nội Giáo dục Việt Nam 2009 767 tr. minh họa 24cm Khái quát những vấn đề chung liên quan đến lĩnh vực micrô và nanô điện tử; Giới thiệu một số công nghệ micrô điện tử trên Si, chế tạo mặt nạ, vật liệu bán dẫn, màng kim loại, hiệu ứng vật lí và lượng tử, cấu trúc nanô, nanô điện tử: Một số vấn đề về mô hình hoá và mô phỏng trong nanô điện tử Điện tử; Công nghệ micro; Công nghệ nanô Đào Khắc An Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh