Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử - Nguyễn, Đức Chiến (Bách khoa - Hà Nội, 2014)
Trình bày các khâu công nghệ chủ yếu trong quy trình chế tạo mạch vi điện tử, phân tích nguyên lí hoạt động của một vài linh kiện đặc biệt trong công nghệ chế tạo mạch vi điện tử