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(2010).  Multi-wafer rotating MEMS machines: Turbines, generators, and engines.  Springer.

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 Multi-wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines.  Springer, 2010.

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 Multi-wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines.  Springer, 2010.

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