(2010). Multi-wafer rotating MEMS machines: Turbines, generators, and engines. Springer.
Chicago ZitierstilMulti-wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines. Springer, 2010.
MLA ZitierstilMulti-wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines. Springer, 2010.
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