(2010). Multi-wafer rotating MEMS machines: Turbines, generators, and engines. Springer.
Trích dẫn kiểu ChicagoMulti-wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines. Springer, 2010.
ציטוט MLAMulti-wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines. Springer, 2010.
אזהרה: ציטוטים אלה לעיתים לא מדויקים ב 100%.