Nghiên cứu quá trình thiết kế và sản xuất Microcantilever trong vi cơ điện tử (MEMS-Microelectromechanical Systems)

Tóm tắt kết quả nghiên cứu: − Nghiên cứu hình dáng cấu tạo của microcantilever ứng dụng nhiều trong y học − Thiết kế các thanh microcantilever trên máy tính bằng phần mềm L-edit − Nghiên cứu thành công quy trình rút gọn các bước trong sản xuất microcantilever − Thực hiện các bước để sản xuất ra...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Главный автор: Phạm, Thị Thảo Khương
Формат: Bài viết
Язык:Vietnamese
Опубликовано: 2023
Предметы:
Online-ссылка:http://data.ute.udn.vn/handle/123456789/414
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
Thư viện lưu trữ: Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật - Đại học Đà Nẵng