Nghiên cứu quá trình thiết kế và sản xuất Microcantilever trong vi cơ điện tử (MEMS-Microelectromechanical Systems)

Tóm tắt kết quả nghiên cứu: − Nghiên cứu hình dáng cấu tạo của microcantilever ứng dụng nhiều trong y học − Thiết kế các thanh microcantilever trên máy tính bằng phần mềm L-edit − Nghiên cứu thành công quy trình rút gọn các bước trong sản xuất microcantilever − Thực hiện các bước để sản xuất ra...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Phạm, Thị Thảo Khương
Format: Bài viết
Language:Vietnamese
Published: 2023
Subjects:
Online Access:http://data.ute.udn.vn/handle/123456789/414
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Institutions: Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật - Đại học Đà Nẵng