Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng - Phạm, Hồng Tuấn (2011)
Tác giả: Phạm Hồng Tuấn, ThS -- Từ khóa: Thiết bị phún xạ DC-magnetron; Chế tạo màng mỏng; Gương quang học; Mạ bạc; Màng kim loại