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Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /
Weitere Verfasser: “...Peng, Shie-Ming....”
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Synthesis and characterization of fluorinated beta-ketoiminate and imino-alcoholate Pd complexes : Precursors for palladium chemical vapor deposition /
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