Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả khác: Carty, Arthur J., Chen, Yao-Lun., Chi, Yun., Lai, Ying-Hui., Lee, Gene-Hsiang., Liu, Chao-Shiuan., Peng, Shie-Ming.
Định dạng: Bài viết
Ngôn ngữ:English
Những chủ đề:
Electrical conductivity
Inorganic compounds
Microstructure
Transition element compounds
Transition elements
Volatility
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

Chi tiết quỹ từ

Những quyển sách tương tự