Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents /

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Carty, Arthur J., Chen, Yao-Lun., Chi, Yun., Lai, Ying-Hui., Lee, Gene-Hsiang., Liu, Chao-Shiuan., Peng, Shie-Ming.
التنسيق: مقال
اللغة:English
الموضوعات:
Electrical conductivity
Inorganic compounds
Microstructure
Transition element compounds
Transition elements
Volatility
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

تفاصيل المقتنيات من

مواد مشابهة