May, G. S. (2006). Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control. Hoboken, N.J: Wiley-Interscience.
Chicago-стиль цитированияMay, Gary S. Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control. Hoboken, N.J: Wiley-Interscience, 2006.
MLA-цитированиеMay, Gary S. Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control. Hoboken, N.J: Wiley-Interscience, 2006.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.