Chang, P., Chang, Y., Chiu, H., & Wu, J. Chemical vapor deposition of tantalum carbide and carbonitride thin films from Me3CETa(CH2CMe3)3(E= CH, N).
Παραπομπή Chicago StyleChang, Pei-Ju., Yu-Hsu Chang, Hsin-Tien Chiu, και Jin-Bao Wu. Chemical Vapor Deposition of Tantalum Carbide and Carbonitride Thin Films From Me3CETa(CH2CMe3)3(E= CH, N).
Παραπομπή MLAChang, Pei-Ju., Yu-Hsu Chang, Hsin-Tien Chiu, και Jin-Bao Wu. Chemical Vapor Deposition of Tantalum Carbide and Carbonitride Thin Films From Me3CETa(CH2CMe3)3(E= CH, N).
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.