Cita APA

Grill, A. Porous pSiCOH ultralow-k dielectrics for chip interconnects prepared by PECVD.

Citación estilo Chicago

Grill, Alfred. Porous PSiCOH Ultralow-k Dielectrics for Chip Interconnects Prepared By PECVD.

Cita MLA

Grill, Alfred. Porous PSiCOH Ultralow-k Dielectrics for Chip Interconnects Prepared By PECVD.

Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.