Porous pSiCOH ultralow-k dielectrics for chip interconnects prepared by PECVD /
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Článek |
| Jazyk: | English |
| Témata: | |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|