Porous pSiCOH ultralow-k dielectrics for chip interconnects prepared by PECVD /
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | English |
| Những chủ đề: | |
| Các nhãn: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|