Stephen A. Campbell. (2001). The science and engineering of microelectronic fabrication. New York: Oxford University Press.
Citación estilo ChicagoStephen A. Campbell. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. New York: Oxford University Press, 2001.
Cita MLAStephen A. Campbell. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication. New York: Oxford University Press, 2001.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.