The science and engineering of microelectronic fabrication

This new edition includes a chapter on microelectromechanical structures (MEMS), an exciting new area in microfabrication. The coverage of MEMS includes fundamentals of mechanics; stress in thin films; mechanical to electrical transduction; mechanics of common MEMS devices; bulk micromachining etchi...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Stephen A. Campbell
اللغة:Undetermined
English
منشور في: New York Oxford University Press 2001
الموضوعات:
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh