The science and engineering of microelectronic fabrication
This new edition includes a chapter on microelectromechanical structures (MEMS), an exciting new area in microfabrication. The coverage of MEMS includes fundamentals of mechanics; stress in thin films; mechanical to electrical transduction; mechanics of common MEMS devices; bulk micromachining etchi...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Idioma: | Undetermined English |
| Publicado: |
New York
Oxford University Press
2001
|
| Những chủ đề: | |
| Các nhãn: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh |
|---|