Tạo màng TiN bằng phương pháp mạ ion
Tác giả: Nguyễn Hữu Chí, GS, PTS -- Từ khóa: Màng TiN; Phương pháp mạ ion; Phương pháp BARE; Phương pháp SIP
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Bài viết |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Được phát hành: |
2011
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/12257 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| id |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-12257 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-122572011-06-13T12:17:28Z Tạo màng TiN bằng phương pháp mạ ion Nguyễn, Hữu Chí Chế tạo máy Tác giả: Nguyễn Hữu Chí, GS, PTS -- Từ khóa: Màng TiN; Phương pháp mạ ion; Phương pháp BARE; Phương pháp SIP Nghiên cứu tổng hợp màng TiN bằng 2 phương pháp (BARE) và (SIP) 2011-06-13T12:17:28Z 2011-06-13T12:17:28Z 1994 1994 Working Paper 96-0202 https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/12257 vi application/pdf Bộ |
| institution |
Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
| collection |
Thư viện số |
| language |
Vietnamese |
| topic |
Chế tạo máy |
| spellingShingle |
Chế tạo máy Nguyễn, Hữu Chí Tạo màng TiN bằng phương pháp mạ ion |
| description |
Tác giả: Nguyễn Hữu Chí, GS, PTS -- Từ khóa: Màng TiN; Phương pháp mạ ion; Phương pháp BARE; Phương pháp SIP |
| format |
Working Paper |
| author |
Nguyễn, Hữu Chí |
| author_facet |
Nguyễn, Hữu Chí |
| author_sort |
Nguyễn, Hữu Chí |
| title |
Tạo màng TiN bằng phương pháp mạ ion |
| title_short |
Tạo màng TiN bằng phương pháp mạ ion |
| title_full |
Tạo màng TiN bằng phương pháp mạ ion |
| title_fullStr |
Tạo màng TiN bằng phương pháp mạ ion |
| title_full_unstemmed |
Tạo màng TiN bằng phương pháp mạ ion |
| title_sort |
tạo màng tin bằng phương pháp mạ ion |
| publishDate |
2011 |
| url |
https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/12257 |
| _version_ |
1819846118891061248 |