EFFECT OF TEMPERATURE AND TIME OF BAKING PHASE ON SU-8 PR FILM USED AS A HARD MASK FOR A DEEP LITHOGRAPHY

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Bùi, Tuấn Anh
Aineistotyyppi: Artikkeli
Kieli:Vietnamese
Julkaistu: 2023
Aiheet:
Linkit:https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=290614
https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/137411
Tagit: Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt