EFFECT OF TEMPERATURE AND TIME OF BAKING PHASE ON SU-8 PR FILM USED AS A HARD MASK FOR A DEEP LITHOGRAPHY

Guardat en:
Dades bibliogràfiques
Autor principal: Bùi, Tuấn Anh
Format: Article
Idioma:Vietnamese
Publicat: 2023
Matèries:
Accés en línia:https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=290614
https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/137411
Etiquetes: Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt