EFFECT OF TEMPERATURE AND TIME OF BAKING PHASE ON SU-8 PR FILM USED AS A HARD MASK FOR A DEEP LITHOGRAPHY
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Vietnamese |
| Veröffentlicht: |
2023
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=290614 https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/137411 |
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| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
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