Ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng TiN được tạo bằng công nghệ hồ quang = Effect of substrate bias on thicknesses and hardness of TiN film created by arc technology
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Bài viết |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Được phát hành: |
2023
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=332125 https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/146086 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| id |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-146086 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-1460862023-10-09T08:05:03Z Ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng TiN được tạo bằng công nghệ hồ quang = Effect of substrate bias on thicknesses and hardness of TiN film created by arc technology Nguyen, Duc Luan Khoa học và Công nghệ (Đại học Công nghiệp Hà Nội) 2023-10-09T08:05:03Z 2023-10-09T08:05:03Z 2021 Article https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=332125 https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/146086 vi Khoa học và Công nghệ (Đại học Công nghiệp Hà Nội) - 2021 - no.SĐB - tr.74-77 - ISSN.1859-3585 application/pdf |
| institution |
Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
| collection |
Thư viện số |
| language |
Vietnamese |
| topic |
Khoa học và Công nghệ (Đại học Công nghiệp Hà Nội) |
| spellingShingle |
Khoa học và Công nghệ (Đại học Công nghiệp Hà Nội) Nguyen, Duc Luan Ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng TiN được tạo bằng công nghệ hồ quang = Effect of substrate bias on thicknesses and hardness of TiN film created by arc technology |
| format |
Article |
| author |
Nguyen, Duc Luan |
| author_facet |
Nguyen, Duc Luan |
| author_sort |
Nguyen, Duc Luan |
| title |
Ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng TiN được tạo bằng công nghệ hồ quang = Effect of substrate bias on thicknesses and hardness of TiN film created by arc technology |
| title_short |
Ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng TiN được tạo bằng công nghệ hồ quang = Effect of substrate bias on thicknesses and hardness of TiN film created by arc technology |
| title_full |
Ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng TiN được tạo bằng công nghệ hồ quang = Effect of substrate bias on thicknesses and hardness of TiN film created by arc technology |
| title_fullStr |
Ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng TiN được tạo bằng công nghệ hồ quang = Effect of substrate bias on thicknesses and hardness of TiN film created by arc technology |
| title_full_unstemmed |
Ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng TiN được tạo bằng công nghệ hồ quang = Effect of substrate bias on thicknesses and hardness of TiN film created by arc technology |
| title_sort |
ảnh hưởng của thiên áp đế đến chiều dày và độ cứng của lớp màng tin được tạo bằng công nghệ hồ quang = effect of substrate bias on thicknesses and hardness of tin film created by arc technology |
| publishDate |
2023 |
| url |
https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=332125 https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/146086 |
| _version_ |
1779415537390977024 |