Mô phỏng và phân tích cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng màng vật liệu graphene
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Bài viết |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Được phát hành: |
2024
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/213607 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| id |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-213607 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-2136072024-05-24T22:17:15Z Mô phỏng và phân tích cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng màng vật liệu graphene Modeling and analysis of mems capacitive pressure sensor using graphene membrane Nguyen, Thi Minh Tạp chí khoa học- Trường Đại học Vinh 2024-05-02T23:33:51Z 2024-05-02T23:33:51Z 2018 Article https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/213607 vi Tạp chí khoa học- Trường Đại học Vinh - 2018 - no.1A - tr.41-46 - ISSN.1859-2228 application/pdf |
| institution |
Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
| collection |
Thư viện số |
| language |
Vietnamese |
| topic |
Tạp chí khoa học- Trường Đại học Vinh |
| spellingShingle |
Tạp chí khoa học- Trường Đại học Vinh Nguyen, Thi Minh Mô phỏng và phân tích cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng màng vật liệu graphene |
| format |
Article |
| author |
Nguyen, Thi Minh |
| author_facet |
Nguyen, Thi Minh |
| author_sort |
Nguyen, Thi Minh |
| title |
Mô phỏng và phân tích cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng màng vật liệu graphene |
| title_short |
Mô phỏng và phân tích cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng màng vật liệu graphene |
| title_full |
Mô phỏng và phân tích cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng màng vật liệu graphene |
| title_fullStr |
Mô phỏng và phân tích cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng màng vật liệu graphene |
| title_full_unstemmed |
Mô phỏng và phân tích cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng màng vật liệu graphene |
| title_sort |
mô phỏng và phân tích cảm biến áp suất điện dung mems dùng màng vật liệu graphene |
| publishDate |
2024 |
| url |
https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/213607 |
| _version_ |
1800127940791369728 |