Thiết lập hệ tự động hóa qui trình tạo màng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Eitemau Tebyg

• Tổng hợp màng mỏng Tio2 bằng phương pháp phún xạ Magnetron - Mạ Ion (MSIP)
  gan: Võ, Thị Kim Chung
  Cyhoeddwyd: (2011)
• Tổng hợp màng dẫn điện trong suốt ZnO: Al bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC từ bia gốm
  gan: Nguyễn, Kim Hồng Phúc
  Cyhoeddwyd: (2011)
• Tổng hợp màng dẫn điện trong suốt (ZnO:Al) bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron
  gan: Phạm, Thành Lũy
  Cyhoeddwyd: (2011)
• Tổng hợp màng đa lớp chắn bức xạ hồng ngoại TiO2-Ag-TiO2 bằng phương pháp phún xạ Magnetron
  gan: Trương, Thuý Diễm
  Cyhoeddwyd: (2011)
• Nghiên cứu chế tạo màng quang xúc tác TiO2:Zn bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC :
  gan: Nguyễn, Tấn Minh
  Cyhoeddwyd: (2012)