Ảnh hưởng nồng độ khí Hydro lên cấu trúc của màng Si:H chế tạo bằng phương pháp PECVD
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Tác giả khác: | |
| Định dạng: | Luận văn |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Được phát hành: |
Trường Đại học Khoa học Tự nhiên - ĐHQG TP.HCM
2011
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/5215 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| id |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-5215 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-52152011-06-01T02:50:05Z Ảnh hưởng nồng độ khí Hydro lên cấu trúc của màng Si:H chế tạo bằng phương pháp PECVD Nguyễn, Thị Huỳnh Nga Trần, Quang Trung Lê, Khắc Bình Vật liệu màng mỏng -- Nghiên cứu 2011-06-01T02:50:05Z 2011-06-01T02:50:05Z 2008 Thesis http://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/5215 vi text/html application/pdf application/pdf application/pdf application/pdf application/pdf application/pdf application/pdf application/pdf application/pdf application/pdf image/jpeg Trường Đại học Khoa học Tự nhiên - ĐHQG TP.HCM |
| institution |
Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
| collection |
Thư viện số |
| language |
Vietnamese |
| topic |
Vật liệu màng mỏng -- Nghiên cứu |
| spellingShingle |
Vật liệu màng mỏng -- Nghiên cứu Nguyễn, Thị Huỳnh Nga Ảnh hưởng nồng độ khí Hydro lên cấu trúc của màng Si:H chế tạo bằng phương pháp PECVD |
| author2 |
Trần, Quang Trung |
| author_facet |
Trần, Quang Trung Nguyễn, Thị Huỳnh Nga |
| format |
Thesis |
| author |
Nguyễn, Thị Huỳnh Nga |
| author_sort |
Nguyễn, Thị Huỳnh Nga |
| title |
Ảnh hưởng nồng độ khí Hydro lên cấu trúc của màng Si:H chế tạo bằng phương pháp PECVD |
| title_short |
Ảnh hưởng nồng độ khí Hydro lên cấu trúc của màng Si:H chế tạo bằng phương pháp PECVD |
| title_full |
Ảnh hưởng nồng độ khí Hydro lên cấu trúc của màng Si:H chế tạo bằng phương pháp PECVD |
| title_fullStr |
Ảnh hưởng nồng độ khí Hydro lên cấu trúc của màng Si:H chế tạo bằng phương pháp PECVD |
| title_full_unstemmed |
Ảnh hưởng nồng độ khí Hydro lên cấu trúc của màng Si:H chế tạo bằng phương pháp PECVD |
| title_sort |
ảnh hưởng nồng độ khí hydro lên cấu trúc của màng si:h chế tạo bằng phương pháp pecvd |
| publisher |
Trường Đại học Khoa học Tự nhiên - ĐHQG TP.HCM |
| publishDate |
2011 |
| url |
http://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/5215 |
| _version_ |
1757659649621884928 |