Study on diamond dressing for non - uniformity of pad surface topography in CMP process

Mã QR

Study on diamond dressing for non - uniformity of pad surface topography in CMP process Student id: D10203803

Đã lưu trong:

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính:	Pham, Quoc Phong
Tác giả khác:	Pham Quoc Phong; Dr. Chao - Chang A. Chen
Ngôn ngữ:	Undetermined English
Được phát hành:	Taiwan National Taiwan University of science and Technology 2017
Những chủ đề:	Diamond dressing; Pad cutting rate
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh


LEADER	00750nam a2200229Ia 4500
001	TVU_26177
008	210423s9999 xx 000 0 und d
041			\|a eng
082			\|a 530.4
082			\|b Ph431
100			\|a Pham, Quoc Phong
245		0	\|a Study on diamond dressing for non - uniformity of pad surface topography in CMP process
245		0	\|b Student id: D10203803
245		0	\|c Pham Quoc Phong ; Dr. Chao - Chang A. Chen (Advisor)
260			\|a Taiwan
260			\|b National Taiwan University of science and Technology
260			\|c 2017
300			\|a 144 p.
300			\|c 27 cm
650			\|a Diamond dressing; Pad cutting rate
700			\|a Pham Quoc Phong; Dr. Chao - Chang A. Chen
980			\|a Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh