Multi-Scale Characterization of Crystalline Properties in Thick AlN Epitaxial Films Grown on Trench-Patterned Templates

Chapter 1. Introduction; Chapter 2. Cross-sectional X-ray microdiffraction study of thick AlN films grown on trench-patterned AlN/α-Al2O3 templates; Chapter. 3Simulation of residual strain in thick AlN films grown on trenchpatterned AlN/a-Al2O3 templates using the finite element method; ...

Đã lưu trong:
Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Dinh Thanh Khan
Sprog:eng
Udgivet: Osaka University,
Online adgang:https://dlib.udn.vn/module/chi-tiet-sach?RecordID=2767
Tags: Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Công nghệ thông tin và Học liệu số, Đại học Đà Nẵng